Kato, K. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XXI. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Kato, Kokoro. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XXI. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Kato, Kokoro. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XXI. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.