Wood, O. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VI. SPIE Digital Library.
Citazione stile Chigago Style (17a edizione)Wood, Obert. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VI. SPIE Digital Library.
Citatione MLA (9a ed.)Wood, Obert. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VI. SPIE Digital Library.
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