Cita APA (7a ed.)

Wood, O. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VI. SPIE Digital Library.

Cita Chicago Style (17a ed.)

Wood, Obert. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VI. SPIE Digital Library.

Cita MLA (9a ed.)

Wood, Obert. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VI. SPIE Digital Library.

Precaución: Estas citas no son 100% exactas.