Wood, O. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VI. SPIE Digital Library.
Čikaški stil citiranja (17. izdanje)Wood, Obert. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VI. SPIE Digital Library.
MLA način citiranja (9. izdanje)Wood, Obert. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VI. SPIE Digital Library.
Upozorenje: Ovi citati možda nisu uvijek 100% točni.