APA (7e ed.) Bronvermelding

Wood, O. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VI. SPIE Digital Library.

Chicago (17e ed.) Bronvermelding

Wood, Obert. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VI. SPIE Digital Library.

MLA (9e ed.) Bronvermelding

Wood, Obert. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VI. SPIE Digital Library.

Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.