Lio, A. Optical and EUV Nanolithography XXXV. SPIE Digital Library.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Lio, Anna. Optical and EUV Nanolithography XXXV. SPIE Digital Library.
Цитирование MLA (9-е изд.)Lio, Anna. Optical and EUV Nanolithography XXXV. SPIE Digital Library.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.