Sanchez, M. Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Sanchez, Martha. Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Sanchez, Martha. Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020. SPIE Digital Library.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.