Sanchez, M. Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020. SPIE Digital Library.
Chicago-viite (17. p.)Sanchez, Martha. Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020. SPIE Digital Library.
MLA-viite (9. p.)Sanchez, Martha. Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020. SPIE Digital Library.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.