Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون: Sanchez, Martha
التنسيق: الكتروني كتاب الكتروني
اللغة:الإنجليزية
منشور في: SPIE Digital Library, 4/21/20
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)
الوصف
وصف المادة:<strong>On-Campus Access Only (IP based access)</strong>
وصف مادي:1 online resource
التنسيق:Mode of access: Internet
ردمك:9781510634152
9781510634169
وصول:Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students