APA (7e ed.) Bronvermelding

Owa, S. Optical Microlithography XXXIII. SPIE Digital Library.

Chicago (17e ed.) Bronvermelding

Owa, Soichi. Optical Microlithography XXXIII. SPIE Digital Library.

MLA (9e ed.) Bronvermelding

Owa, Soichi. Optical Microlithography XXXIII. SPIE Digital Library.

Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.