A Lithographer’s Guide to Patterning CMOS Devices with Directed Self-Assembly

Dades bibliogràfiques
Autor principal: Guerrero, Douglas
Format: Electrònic eBook
Idioma:anglès
Publicat: SPIE Digital Library, 1/1/20
Matèries:
Accés en línia:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Ítems similars