A Lithographer’s Guide to Patterning CMOS Devices with Directed Self-Assembly

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Guerrero, Douglas
التنسيق: الكتروني كتاب الكتروني
اللغة:الإنجليزية
منشور في: SPIE Digital Library, 1/1/20
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)