Naulleau, P. Extreme Ultraviolet Lithography 2020. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումNaulleau, Patrick. Extreme Ultraviolet Lithography 2020. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումNaulleau, Patrick. Extreme Ultraviolet Lithography 2020. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.