Erdmann, A. Optical and EUV Lithography: A Modeling Perspective. SPIE Digital Library.
Chicago-viite (17. p.)Erdmann, Andreas. Optical and EUV Lithography: A Modeling Perspective. SPIE Digital Library.
MLA-viite (9. p.)Erdmann, Andreas. Optical and EUV Lithography: A Modeling Perspective. SPIE Digital Library.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.