Burn, J. L. Optical Lithography: Here is Why, Second Edition. SPIE Digital Library.
Citação norma ChicagoBurn, J. Lin. Optical Lithography: Here Is Why, Second Edition. SPIE Digital Library.
Citação norma MLABurn, J. Lin. Optical Lithography: Here Is Why, Second Edition. SPIE Digital Library.
Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.