Optical Lithography: Here is Why, Second Edition

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Burn, J. Lin
Natura: Elettronico eBook
Lingua:inglese
Pubblicazione: SPIE Digital Library, 1/1/21
Soggetti:
Accesso online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)
Descrizione
Descrizione del documento:<strong>On-Campus Access Only (IP based access)</strong>
Descrizione fisica:1 online resource
Natura:Mode of access: Internet
ISBN:9781510639959
9781510639966
Accesso:Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students