APA-ийн эшлэл(7 дахь хэвлэлт)

Felix, N. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.

Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)

Felix, Nelson. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.

MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)

Felix, Nelson. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.

Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.