Felix, N. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.
Chicago-viite (17. p.)Felix, Nelson. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.
MLA-viite (9. p.)Felix, Nelson. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.