APA (7e ed.) Bronvermelding

Felix, N. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.

Chicago (17e ed.) Bronvermelding

Felix, Nelson. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.

MLA (9e ed.) Bronvermelding

Felix, Nelson. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.

Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.