Adan, O. Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումAdan, Ofer. Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումAdan, Ofer. Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.