Adan, O. Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV. SPIE Digital Library.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Adan, Ofer. Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV. SPIE Digital Library.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 9)Adan, Ofer. Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV. SPIE Digital Library.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.