Bannister, J. Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning X. SPIE Digital Library.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Bannister, Julie. Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning X. SPIE Digital Library.
Цитирование MLA (9-е изд.)Bannister, Julie. Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning X. SPIE Digital Library.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.