International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2021. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2021. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2021. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.