Ando, A. Photomask Japan 2021: XXVII Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Ando, Akihiko. Photomask Japan 2021: XXVII Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Ando, Akihiko. Photomask Japan 2021: XXVII Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.