Behringer, U. 35th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2019). SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումBehringer, Uwe. 35th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2019). SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումBehringer, Uwe. 35th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2019). SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.