Behringer, U. 35th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2019). SPIE Digital Library.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Behringer, Uwe. 35th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2019). SPIE Digital Library.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Behringer, Uwe. 35th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2019). SPIE Digital Library.
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