Behringer, U. 35th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2019). SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Behringer, Uwe. 35th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2019). SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Behringer, Uwe. 35th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2019). SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.