Citace podle APA (7th ed.)

Goldberg, K. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography X. SPIE Digital Library.

Citace podle Chicago (17th ed.)

Goldberg, Kenneth. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography X. SPIE Digital Library.

Citace podle MLA (9th ed.)

Goldberg, Kenneth. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography X. SPIE Digital Library.

Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..