Sanchez, M. Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS, and MOEMS 2019. SPIE Digital Library.
Style de citation Chicago (17e éd.)Sanchez, Martha. Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS, and MOEMS 2019. SPIE Digital Library.
Style de citation MLA (9e éd.)Sanchez, Martha. Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS, and MOEMS 2019. SPIE Digital Library.
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