Panning, E. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VIII. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfPanning, Eric. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VIII. SPIE Digital Library.
MLA (9th ed.) AtıfPanning, Eric. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VIII. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..