APA (7. basım) Alıntı

Panning, E. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VIII. SPIE Digital Library.

Chicago Style (17. basım) Atıf

Panning, Eric. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VIII. SPIE Digital Library.

MLA (9th ed.) Atıf

Panning, Eric. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VIII. SPIE Digital Library.

Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..