APA (7. basım) Alıntı

Sanchez, M. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXI. SPIE Digital Library.

Chicago Style (17. basım) Atıf

Sanchez, Martha. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXI. SPIE Digital Library.

MLA (9th ed.) Atıf

Sanchez, Martha. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXI. SPIE Digital Library.

Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..