Erdmann, A. Optical Microlithography XXX. SPIE Digital Library.
Dyfyniad Arddull ChicagoErdmann, Andreas. Optical Microlithography XXX. SPIE Digital Library.
Dyfyniad MLAErdmann, Andreas. Optical Microlithography XXX. SPIE Digital Library.
Rhybudd: Mae'n bosib nad yw'r dyfyniadau hyn bob amser yn 100% cywir.