Erdmann, A. Optical Microlithography XXX. SPIE Digital Library.
Chicago (17e ed.) BronvermeldingErdmann, Andreas. Optical Microlithography XXX. SPIE Digital Library.
MLA (9e ed.) BronvermeldingErdmann, Andreas. Optical Microlithography XXX. SPIE Digital Library.
Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.