Erdmann, A. Optical Microlithography XXX. SPIE Digital Library.
Chicago-referens (17:e uppl.)Erdmann, Andreas. Optical Microlithography XXX. SPIE Digital Library.
MLA-referens (9:e uppl.)Erdmann, Andreas. Optical Microlithography XXX. SPIE Digital Library.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.