Erdmann, A. Optical Microlithography XXX. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Erdmann, Andreas. Optical Microlithography XXX. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Erdmann, Andreas. Optical Microlithography XXX. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.