APA (7e ed.) Bronvermelding

Monahan, K. Handbook of Critical Dimension Metrology and Process Control: A Critical Review. SPIE Digital Library.

Chicago (17e ed.) Bronvermelding

Monahan, Kevin. Handbook of Critical Dimension Metrology and Process Control: A Critical Review. SPIE Digital Library.

MLA (9e ed.) Bronvermelding

Monahan, Kevin. Handbook of Critical Dimension Metrology and Process Control: A Critical Review. SPIE Digital Library.

Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.