Style de citation APA (7e éd.)

Dey, J. Developments in Semiconductor Microlithography V. SPIE Digital Library.

Style de citation Chicago (17e éd.)

Dey, James. Developments in Semiconductor Microlithography V. SPIE Digital Library.

Style de citation MLA (9e éd.)

Dey, James. Developments in Semiconductor Microlithography V. SPIE Digital Library.

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