APA-ийн эшлэл(7 дахь хэвлэлт)

Dey, J. Developments in Semiconductor Microlithography V. SPIE Digital Library.

Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)

Dey, James. Developments in Semiconductor Microlithography V. SPIE Digital Library.

MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)

Dey, James. Developments in Semiconductor Microlithography V. SPIE Digital Library.

Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.