Stover, H. Optical Microlithography I: Technology for the Mid-1980s. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Stover, Harry. Optical Microlithography I: Technology for the Mid-1980s. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Stover, Harry. Optical Microlithography I: Technology for the Mid-1980s. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.