Nyyssonen, D. Integrated Circuit Metrology I. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfNyyssonen, Diana. Integrated Circuit Metrology I. SPIE Digital Library.
MLA (9th ed.) AtıfNyyssonen, Diana. Integrated Circuit Metrology I. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..