Wagner, A. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Techniques for Submicrometer Lithographies III. SPIE Digital Library.
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)Wagner, Alfred. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Techniques for Submicrometer Lithographies III. SPIE Digital Library.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الإصدار التاسع)Wagner, Alfred. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Techniques for Submicrometer Lithographies III. SPIE Digital Library.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.