Citação APA (7ª ed.)

Wagner, A. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Techniques for Submicrometer Lithographies III. SPIE Digital Library.

Citação do estilo Chicago (17ª ed.)

Wagner, Alfred. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Techniques for Submicrometer Lithographies III. SPIE Digital Library.

Citação MLA (9ª ed.)

Wagner, Alfred. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Techniques for Submicrometer Lithographies III. SPIE Digital Library.

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