Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Techniques for Submicrometer Lithographies III

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Wagner, Alfred
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:Αγγλικά
Έκδοση: SPIE Digital Library, 6/18/84
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Παρόμοια τεκμήρια