Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Techniques for Submicrometer Lithographies IV

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Blais, Phillip
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:Αγγλικά
Έκδοση: SPIE Digital Library, 6/20/85
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Παρόμοια τεκμήρια