Stover, H. Optical Microlithography IV. SPIE Digital Library.
Chicago-viite (17. p.)Stover, Harry. Optical Microlithography IV. SPIE Digital Library.
MLA-viite (9. p.)Stover, Harry. Optical Microlithography IV. SPIE Digital Library.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.