Stover, H. Optical Microlithography IV. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfStover, Harry. Optical Microlithography IV. SPIE Digital Library.
MLA (9th ed.) AtıfStover, Harry. Optical Microlithography IV. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..