Monahan, K. Micron and Submicron Integrated Circuit Metrology. SPIE Digital Library.
Cytowanie według stylu Chicago (wyd. 17)Monahan, Kevin. Micron and Submicron Integrated Circuit Metrology. SPIE Digital Library.
Cytowanie według stylu MLA (wyd. 9)Monahan, Kevin. Micron and Submicron Integrated Circuit Metrology. SPIE Digital Library.
Uwaga: Te cytaty mogą odróżniać się od wytycznej twojego fakultetu..