Blais, P. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Technology for Submicrometer Lithographies V. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումBlais, Phillip. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Technology for Submicrometer Lithographies V. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումBlais, Phillip. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Technology for Submicrometer Lithographies V. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.