Stover, H. Optical Microlithography V. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումStover, Harry. Optical Microlithography V. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումStover, Harry. Optical Microlithography V. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.