Stover, H. Optical Microlithography VI. SPIE Digital Library.
Chicago (17e ed.) BronvermeldingStover, Harry. Optical Microlithography VI. SPIE Digital Library.
MLA (9e ed.) BronvermeldingStover, Harry. Optical Microlithography VI. SPIE Digital Library.
Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.